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无油活塞真空泵常见应用领域

发布时间:2021-10-11      点击次数:187
  无油活塞真空泵常见应用领域:
  1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
  2、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
  3、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
  4、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
  5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

  怎样做好无油活塞真空泵的日常维护?
  1、设备周围环境应保持清洁、干燥,通风良好。检查冷却水路是否畅通。
  2、检查各润滑部位的润滑油是否符合规定。
  3、操作人员必须严格按操作规程进行操作,巡回检查发现问题必须及时处理。
  4、必要时可报告有关部门进行状态。
  5、每班必须检查各部紧固螺栓,不得有松动现象,经常检查真空罐中的液位是否正常有效,并进行必要紧固。
  6、随时检查真空表、电流表的读数是否正常。随时注意观察设备运转有无异常声响或振动。
  7、机壳外部清理,请在切断电源的情况下,用干燥柔软的抹布清理机壳外部的灰尘污垢,每月至少清理一次。
  8、进气过滤消音器的清洗,过滤消声器过滤棉的清洗很重要,它直接影响真空泵的流量和寿命,每月至少清洗一次,请将消声器拧下,拆开消声器端盖,取出过滤棉,用清水冲洗干净,凉干,再安装好使用。如果不能清洗干净,请更换过滤棉。

无油活塞真空泵

 

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